专门于多种先进产业相关策略性调查的美国市调公司 Technical Insights, Inc. （总公司：Texas State），针对在产业自动化领域中MEMS感测器及驱动器的影响进行调查分析，并出版经系统整理的报告书 "Impact Analysis of MEMS-Based Sensors and Actuators on Industrial Automation" 。
本报告书内容包括：MEMS技术的发展趋势及在产业自动化领域中的应用情况、各种微机电制造技术、MEMS技术及应用、 技术采用对市场的影响及市场发展因素・好处、全球企业・大学的开发实例等。内容纲要摘记如下：
第1章 实施概要
- 调查范围・调查方法
- 主要调查结果
- 技术概要
- 主要技术・技术创新
- 分析员的观察
第2章 微机电制造
- 技术概要
- 微机电制造概要
- 微机电制造的重要性
- 体型微机电制造
- 概要
- 微机电表面细微加工
- LIGA加工
- 概要
- 电镀
- SLIGA加工
第3章 MEM技术及应用：概要
- MEMS感测器
- 技术概要
- 压力感测器
- 加速度计
- 回转仪
- 瓦斯感测器
- 接近感测器/位置感测器
- 流量感测器
- 湿度・温度・热感测器
- 机械应力感测器
- 声波感测器
- MEMS驱动器
- 技术概要
- 微型马达
- 微帮浦
- 微型阀
- 微涡轮机
- 微镜面
- MEMS驱动器类型・实验室芯片系统
第4章 技术影响・采用要因分析
- 技术影响分析
- MEMS vs 传统型技术
- 技术发展蓝图
- 技术特徵・好处・趋势
- 技术采用要因分析
- 促进技术发展因素
- 阻碍技术发展因素
第5章 全球技术发展
- MEMS感测器的发展趋势
- MEMS驱动器的发展趋势
第6章 微机电工具&加工的创新发展趋势
- 大学的研究
- 企业的研究
第7章 财务分析・全球发展趋势评价
- 创投基金・公共领域・企业的资金提供：SWOT分析
- 全球技术创新评价
第8章 专利：专利分析・主要联络对象
- 专利分析
- 主要企业数据库
